Shkalla e rendimentit të çipit në industrinë e prodhimit të IC-ve është e lidhur ngushtë me madhësinë dhe numrin e grimcave të ajrit të depozituara në çip. Një organizim i mirë i rrjedhës së ajrit mund t'i largojë grimcat e gjeneruara nga burimi i pluhurit nga dhoma e pastër për të siguruar pastërtinë e dhomës së pastër, domethënë, organizimi i rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër luan një rol jetësor në shkallën e rendimentit të prodhimit të IC-ve. Projektimi i organizimit të rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër duhet të arrijë qëllimet e mëposhtme: të zvogëlojë ose eliminojë rrymën vorbull në fushën e rrjedhjes për të shmangur mbajtjen e grimcave të dëmshme; të mbajë një gradient të përshtatshëm pozitiv të presionit për të parandaluar kontaminimin e kryqëzuar.
Forca e rrjedhës së ajrit
Sipas parimit të dhomës së pastër, forcat që veprojnë mbi grimcat përfshijnë forcën masive, forcën molekulare, tërheqjen midis grimcave, forcën e rrjedhës së ajrit, etj.
Forca e rrjedhjes së ajrit: i referohet forcës së rrjedhjes së ajrit të shkaktuar nga rrjedhja e ajrit të dërgimit, kthimit, rrjedhjes së ajrit me konvekcion termik, përzierjes artificiale dhe rrjedhave të tjera të ajrit me një shpejtësi të caktuar rrjedhjeje për të transportuar grimcat. Për kontrollin teknik të mjedisit të dhomës së pastër, forca e rrjedhjes së ajrit është faktori më i rëndësishëm.
Eksperimentet kanë treguar se në lëvizjen e rrjedhës së ajrit, grimcat ndjekin lëvizjen e rrjedhës së ajrit me pothuajse të njëjtën shpejtësi. Gjendja e grimcave në ajër përcaktohet nga shpërndarja e rrjedhës së ajrit. Rrjedhat e ajrit që ndikojnë në grimcat e brendshme përfshijnë kryesisht: rrjedhën e ajrit të furnizimit me ajër (duke përfshirë rrjedhën primare të ajrit dhe atë sekondare të ajrit), rrjedhën e ajrit dhe rrjedhën e ajrit të konvekcionit termik të shkaktuar nga njerëzit që ecin, dhe rrjedhën e ajrit të shkaktuar nga funksionimi i procesit dhe pajisjet industriale. Metodat e ndryshme të furnizimit me ajër, ndërfaqet e shpejtësisë, operatorët dhe pajisjet industriale, si dhe fenomenet e shkaktuara në dhomat e pastra janë të gjithë faktorë që ndikojnë në nivelin e pastërtisë.
Faktorët që ndikojnë në organizimin e rrjedhës së ajrit janë faktorë që ndikojnë në organizimin e rrjedhës së ajrit.
1. Ndikimi i metodës së furnizimit me ajër
(1). Shpejtësia e furnizimit me ajër
Për të siguruar rrjedhë uniforme të ajrit, shpejtësia e furnizimit me ajër duhet të jetë uniforme në një dhomë të pastër unidrejtimëshe; zona e vdekur e sipërfaqes së furnizimit me ajër duhet të jetë e vogël; dhe rënia e presionit në ULPA duhet të jetë gjithashtu uniforme.
Shpejtësia uniforme e furnizimit me ajër: domethënë, pabarazia e rrjedhës së ajrit kontrollohet brenda ±20%.
Më pak zonë e vdekur në sipërfaqen e furnizimit me ajër: jo vetëm që duhet të zvogëlohet sipërfaqja e rrafshët e kornizës ULPA, por më e rëndësishmja, duhet të përdoret një FFU modulare për të thjeshtuar kornizën redundante.
Për të siguruar rrjedhën vertikale unidrejtimëshe të ajrit, përzgjedhja e rënies së presionit të filtrit është gjithashtu shumë e rëndësishme, duke kërkuar që humbja e presionit në filtër të mos devijojë.
(2). Krahasimi midis sistemit FFU dhe sistemit të ventilatorit me rrjedhje aksiale
FFU është një njësi furnizimi me ajër me një ventilator dhe një filtër (ULPA). Pasi ajri thithet nga ventilatori centrifugal i FFU-së, presioni dinamik shndërrohet në presion statik në kanalin e ajrit dhe nxirret në mënyrë të barabartë nga ULPA. Presioni i furnizimit me ajër në tavan është presion negativ, kështu që nuk do të rrjedhë pluhur në dhomën e pastër kur të zëvendësohet filtri. Eksperimentet kanë treguar se sistemi FFU është superior ndaj sistemit të ventilatorit me rrjedhë aksiale për sa i përket uniformitetit të daljes së ajrit, paralelizmit të rrjedhës së ajrit dhe indeksit të efikasitetit të ventilimit. Kjo për shkak se paralelizmi i rrjedhës së ajrit i sistemit FFU është më i mirë. Përdorimi i sistemit FFU mund ta bëjë rrjedhën e ajrit në dhomën e pastër më të organizuar.
(3). Ndikimi i strukturës së vetë FFU-së
FFU përbëhet kryesisht nga ventilatorë, filtra, pajisje udhëzuese të rrjedhës së ajrit dhe komponentë të tjerë. Filtri me efikasitet ultra të lartë ULPA është garancia më e rëndësishme nëse dhoma e pastër mund të arrijë pastërtinë e kërkuar të projektimit. Materiali i filtrit do të ndikojë gjithashtu në uniformitetin e fushës së rrjedhjes. Kur një material i trashë filtri ose një pllakë rrjedhjeje laminare shtohet në daljen e filtrit, fusha e rrjedhjes së daljes mund të bëhet lehtësisht uniforme.
2. Ndikimi i ndërfaqeve të shpejtësisë së ndryshme të pastërtisë
Në të njëjtën dhomë të pastër, midis zonës së punës dhe zonës jo-pune të rrjedhës vertikale unidireksionale, për shkak të ndryshimit në shpejtësinë e ajrit në daljen ULPA, në ndërfaqe do të gjenerohet një efekt vorbulle e përzier, dhe kjo ndërfaqe do të bëhet një zonë turbulente e rrjedhës së ajrit me intensitet veçanërisht të lartë të turbulencës së ajrit. Grimcat mund të transmetohen në sipërfaqen e pajisjeve dhe të kontaminojnë pajisjet dhe pllakat.
3. Ndikimi i stafit dhe pajisjeve
Kur dhoma e pastër është bosh, karakteristikat e rrjedhës së ajrit në dhomë në përgjithësi përmbushin kërkesat e projektimit. Sapo pajisjet të hyjnë në dhomën e pastër, personeli lëviz dhe produktet transmetohen, në mënyrë të pashmangshme do të ketë pengesa në organizimin e rrjedhës së ajrit. Për shembull, në qoshet ose skajet e spikatura të pajisjeve, gazi do të devijohet për të formuar një zonë turbulente, dhe lëngu në zonë nuk largohet lehtësisht nga gazi, duke shkaktuar kështu ndotje. Në të njëjtën kohë, sipërfaqja e pajisjeve do të nxehet për shkak të funksionimit të vazhdueshëm, dhe gradienti i temperaturës do të shkaktojë një zonë rifluksimi pranë makinës, e cila do të rrisë akumulimin e grimcave në zonën e rifluksit. Në të njëjtën kohë, temperatura e lartë do të shkaktojë lehtësisht daljen e grimcave. Efekti i dyfishtë përkeqëson vështirësinë e kontrollit të pastërtisë së përgjithshme vertikale laminare. Pluhuri nga operatorët në dhomën e pastër ngjitet shumë lehtë në pllaka në këto zona rifluksimi.
4. Ndikimi i dyshemesë së ajrit të kthimit
Kur rezistenca e ajrit të kthimit që kalon nëpër dysheme është e ndryshme, do të gjenerohet një ndryshim presioni, në mënyrë që ajri të rrjedhë në drejtim të rezistencës më të vogël dhe nuk do të arrihet rrjedhë uniforme e ajrit. Metoda aktuale e projektimit popullore është përdorimi i dyshemeve të ngritura. Kur shkalla e hapjes së dyshemeve të ngritura është 10%, shpejtësia e rrjedhës së ajrit në lartësinë e punës të dhomës mund të shpërndahet në mënyrë të barabartë. Përveç kësaj, duhet t'i kushtohet vëmendje e rreptë punës së pastrimit për të zvogëluar burimin e ndotjes së dyshemesë.
5. Fenomeni i induksionit
I ashtuquajturi fenomen induksioni i referohet fenomenit ku gjenerohet rrjedha e ajrit në drejtim të kundërt me rrjedhën uniforme, dhe pluhuri i gjeneruar në dhomë ose pluhuri në zonën ngjitur të kontaminuar induktohet në anën kundër erës, në mënyrë që pluhuri të mund të kontaminojë çipin. Më poshtë janë fenomenet e mundshme të induksionit:
(1). Pllakë e verbër
Në një dhomë të pastër me rrjedhë vertikale unidireksionale, për shkak të nyjeve në mur, në përgjithësi ka pllaka të mëdha të verbëra që do të gjenerojnë turbulencë në rrjedhën lokale të kthimit.
(2). Llambat
Pajisjet e ndriçimit në dhomën e pastër do të kenë një ndikim më të madh. Meqenëse nxehtësia e llambave fluoreshente shkakton rritjen e rrjedhës së ajrit, nuk do të ketë zonë turbulente nën llambat fluoreshente. Në përgjithësi, llambat në dhomën e pastër janë projektuar në formë pike loti për të zvogëluar ndikimin e llambave në organizimin e rrjedhës së ajrit.
(3.) Hapësira midis mureve
Kur ka boshllëqe midis ndarjeve me nivele të ndryshme pastërtie ose midis ndarjeve dhe tavaneve, pluhuri nga zona me kërkesa të ulëta pastërtie mund të transferohet në zonën ngjitur me kërkesa të larta pastërtie.
(4). Distanca midis makinës dhe dyshemesë ose murit
Nëse hapësira midis makinës dhe dyshemesë ose murit është shumë e vogël, kjo do të shkaktojë turbulencë rikthimi. Prandaj, lini një hapësirë midis pajisjes dhe murit dhe ngrini makinën për të shmangur prekjen e drejtpërdrejtë të tokës.
Koha e postimit: 05 shkurt 2025