Shkalla e rendimentit të çipit në industrinë e prodhimit të IC është e lidhur ngushtë me madhësinë dhe numrin e grimcave të ajrit të depozituara në çip. Një organizatë e mirë e rrjedhës së ajrit mund të marrë grimcat e krijuara nga burimi i pluhurit larg dhomës së pastër për të siguruar pastërtinë e dhomës së pastër, domethënë, organizata e rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër luan një rol jetësor në shkallën e rendimentit të prodhimit të IC. Dizajni i organizatës së rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër duhet të arrijë qëllimet e mëposhtme: të zvogëlojë ose eliminojë rrymën eddy në fushën e rrjedhës për të shmangur mbajtjen e grimcave të dëmshme; Mbani një gradient të përshtatshëm pozitiv të presionit për të parandaluar ndotjen kryq.
Forcë ajrore
Sipas parimit të dhomës së pastër, forcat që veprojnë në grimca përfshijnë forcën masive, forcën molekulare, tërheqjen midis grimcave, forcën e rrjedhës së ajrit, etj.
Forca e rrjedhës së ajrit: i referohet forcës së rrjedhës së ajrit të shkaktuar nga shpërndarja, rrjedhës së ajrit të kthimit, rrjedhës së ajrit të konvekcionit termik, nxitje artificiale dhe flukseve të tjera të ajrit me një ritëm të caktuar të rrjedhës për të mbajtur grimcat. Për kontrollin teknik të mjedisit të dhomës së pastër, forca e rrjedhës së ajrit është faktori më i rëndësishëm.
Eksperimentet kanë treguar që në lëvizjen e rrjedhës së ajrit, grimcat ndjekin lëvizjen e rrjedhës së ajrit me pothuajse të njëjtën shpejtësi. Gjendja e grimcave në ajër përcaktohet nga shpërndarja e rrjedhës së ajrit. Planet e ajrit që prekin grimcat e brendshme përfshijnë kryesisht: rrjedhën e ajrit të furnizimit me ajër (përfshirë rrjedhën parësore të ajrit dhe rrjedhën e ajrit sekondar), rrjedhën e ajrit dhe rrjedhën e ajrit konvekcion termik të shkaktuar nga njerëzit që ecin, dhe rrjedhën e ajrit të shkaktuar nga funksionimi i procesit dhe pajisjet industriale. Metodat e ndryshme të furnizimit me ajër, ndërfaqet e shpejtësisë, operatorët dhe pajisjet industriale dhe fenomenet e induktuara në dhomat e pastra janë të gjithë faktorët që ndikojnë në nivelin e pastërtisë.
Faktorët që ndikojnë në organizimin e rrjedhës së ajrit
1. Ndikimi i metodës së furnizimit me ajër
(1). Shpejtësia e furnizimit me ajër
Për të siguruar rrjedhën e ajrit të njëtrajtshme, shpejtësia e furnizimit me ajër duhet të jetë uniforme në një dhomë të pastër njëanshme; Zona e vdekur e sipërfaqes së furnizimit me ajër duhet të jetë e vogël; dhe rënia e presionit në ULPA gjithashtu duhet të jetë uniforme.
Shpejtësia uniforme e furnizimit me ajër: domethënë, pabarazia e rrjedhës së ajrit kontrollohet brenda 20%.
Zona më pak e vdekur në sipërfaqen e furnizimit të ajrit: Jo vetëm që duhet të zvogëlohet zona e aeroplanit të kornizës ULPA, por më e rëndësishmja, FFU modulare duhet të miratohet për të thjeshtuar kornizën e tepërt.
Për të siguruar rrjedhën e ajrit vertikal unidirectional, zgjedhja e rënies së presionit të filtrit është gjithashtu shumë e rëndësishme, duke kërkuar që humbja e presionit në filtër të mos mund të devijojë.
(2). Krahasimi midis sistemit FFU dhe sistemit të tifozit të rrjedhës boshtore
FFU është një njësi e furnizimit me ajër me një tifoz dhe një filtër (ULPA). Pasi ajri të thithet nga tifozja centrifugale e FFU, presioni dinamik shndërrohet në presion statik në kanalin e ajrit dhe hidhet në mënyrë të barabartë nga ULPA. Presioni i furnizimit të ajrit në tavan është presion negativ, në mënyrë që të mos rrjedhë pluhur në dhomën e pastër kur të zëvendësohet filtri. Eksperimentet kanë treguar që sistemi FFU është superior ndaj sistemit të tifozëve të rrjedhës boshtore për sa i përket uniformitetit të daljes së ajrit, paralelizmit të rrjedhës së ajrit dhe indeksit të efikasitetit të ventilimit. Kjo për shkak se paralelizmi i rrjedhës së ajrit të sistemit FFU është më i mirë. Përdorimi i sistemit FFU mund ta bëjë rrjedhën e ajrit në dhomën e pastër të organizuar më mirë.
(3). Ndikimi i strukturës së vetë FFU
FFU është kryesisht e përbërë nga tifozë, filtra, pajisje udhëzuese të rrjedhës së ajrit dhe përbërës të tjerë. Filtri i efikasitetit ultra të lartë ULPA është garancia më e rëndësishme nëse dhoma e pastër mund të arrijë pastërtinë e kërkuar të dizajnit. Materiali i filtrit do të ndikojë gjithashtu në uniformitetin e fushës së rrjedhës. Kur një material i trashë filtri ose një pllakë rrjedhëse laminare shtohet në prizën e filtrit, fusha e rrjedhës së daljes mund të bëhet lehtësisht uniforme.
2. Ndikimi i ndërfaqeve të ndryshme të shpejtësisë së pastërtisë
Në të njëjtën dhomë të pastër, midis zonës së punës dhe zonës jo-punëtore të rrjedhës vertikale unidirectional, për shkak të ndryshimit në shpejtësinë e ajrit në daljen ULPA, do të gjenerohet një efekt i përzier vorbull në ndërfaqe, dhe kjo ndërfaqe do të bëhet e trazuar Zona e rrjedhës së ajrit me intensitet veçanërisht të lartë të turbullirave të ajrit. Grimcat mund të transmetohen në sipërfaqen e pajisjeve dhe të kontaminojnë pajisjet dhe meshat.
3. Ndikimi i stafit dhe pajisjeve
Kur dhoma e pastër është e zbrazët, karakteristikat e rrjedhës së ajrit në dhomë zakonisht plotësojnë kërkesat e projektimit. Pasi pajisja të hyjë në dhomën e pastër, lëvizja e personelit dhe produktet transmetohen, në mënyrë të pashmangshme do të ketë pengesa për organizatën e rrjedhës së ajrit. Për shembull, në qoshet e zgjatura ose skajet e pajisjeve, gazi do të devijohet për të formuar një zonë të turbullt, dhe lëngu në zonë nuk është lehtësuar lehtë nga gazi, duke shkaktuar kështu ndotje. Në të njëjtën kohë, sipërfaqja e pajisjeve do të nxehet për shkak të funksionimit të vazhdueshëm, dhe gradienti i temperaturës do të shkaktojë një zonë reflektuese afër makinës, e cila do të rrisë akumulimin e grimcave në zonën e rrjedhës. Në të njëjtën kohë, temperatura e lartë do të bëjë që grimcat të shpëtojnë. Efekti i dyfishtë përkeqëson vështirësinë e kontrollit të pastërtisë së përgjithshme vertikale laminare. Pluhuri nga operatorët në dhomën e pastër është shumë i lehtë për t'u përmbajtur meshat në këto zona të rrjedhës.
4. Ndikimi i dyshemesë së ajrit të kthimit
Kur rezistenca e ajrit të kthimit që kalon nëpër dysheme është e ndryshme, do të gjenerohet një ndryshim në presion, në mënyrë që ajri të rrjedhë në drejtim të më pak rezistencës, dhe rrjedhja e ajrit uniform nuk do të merret. Metoda aktuale e dizajnit popullor është të përdorni dysheme të ngritura. Kur shkalla e hapjes së kateve të ngritura është 10%, shpejtësia e rrjedhës së ajrit në lartësinë e punës së dhomës mund të shpërndahet në mënyrë të barabartë. Për më tepër, vëmendja e rreptë duhet t'i kushtohet punës së pastrimit për të zvogëluar burimin e ndotjes së dyshemesë.
5. Fenomeni i induksionit
I ashtuquajturi fenomen i induksionit i referohet fenomenit që prodhohet rrjedha e ajrit në drejtim të kundërt të rrjedhës uniforme, dhe pluhuri i gjeneruar në dhomë ose pluhuri në zonën ngjitur të kontaminuar nxitet në anën e sipërme, në mënyrë që pluhuri mund të kontaminojë çipin. Më poshtë janë fenomenet e mundshme të induksionit:
(1). Pjatë e verdhë
Në një dhomë të pastër me rrjedhë vertikale unidirectional, për shkak të nyjeve në mur, në përgjithësi ka pllaka të mëdha të verbër që do të gjenerojnë turbullira në rrjedhën e kthimit lokal.
(2). Llamba
Ndeshjet e ndriçimit në dhomën e pastër do të kenë një ndikim më të madh. Meqenëse nxehtësia e llambave fluoreshente bën që rrjedhja e ajrit të rritet, nuk do të ketë asnjë zonë të turbullt nën llambat fluoreshente. Në përgjithësi, llambat në dhomën e pastër janë të dizajnuara në një formë lotësh për të zvogëluar ndikimin e llambave në organizatën e rrjedhës së ajrit.
(3.) Boshllëqet midis mureve
Kur ka boshllëqe midis ndarjeve me nivele të ndryshme të pastërtisë ose midis ndarjeve dhe tavaneve, pluhuri nga zona me kërkesa të ulëta për pastërtinë mund të transferohet në zonën ngjitur me kërkesa të larta për pastërtinë.
(4). Distanca midis makinës dhe dyshemesë ose murit
Nëse hendeku midis makinës dhe dyshemesë ose murit është shumë i vogël, do të shkaktojë turbullira të kthimit. Prandaj, lini një hendek midis pajisjeve dhe murit dhe ngrini makinën për të mos lejuar që makina të prekë tokën direkt.
Koha e postimit: Shkurt-05-2025