Mbrojtjes së mjedisit i kushtohet gjithnjë e më shumë vëmendje, veçanërisht me rritjen e motit me mjegull. Inxhinieria e dhomave të pastra është një nga masat e mbrojtjes së mjedisit. Si ta përdorim inxhinierinë e dhomave të pastra për të bërë një punë të mirë në mbrojtjen e mjedisit? Le të flasim për kontrollin në inxhinierinë e dhomave të pastra.
Kontroll i temperaturës dhe lagështisë në dhomën e pastër
Temperatura dhe lagështia e hapësirave të pastra përcaktohen kryesisht në bazë të kërkesave të procesit, por kur përmbushen kërkesat e procesit, duhet të merret parasysh edhe rehatia njerëzore. Me përmirësimin e kërkesave të pastërtisë së ajrit, ekziston një tendencë për kërkesa më të rrepta për temperaturën dhe lagështinë në proces.
Si parim i përgjithshëm, për shkak të saktësisë në rritje të përpunimit, kërkesat për diapazonin e luhatjes së temperaturës po bëhen gjithnjë e më të vogla. Për shembull, në procesin e litografisë dhe ekspozimit të prodhimit të qarqeve të integruara në shkallë të gjerë, ndryshimi në koeficientin e zgjerimit termik midis pllakave të qelqit dhe silikonit të përdorura si materiale maskash po bëhet gjithnjë e më i vogël.
Një pllakë silikoni me diametër 100 μ m shkakton një zgjerim linear prej 0.24 μ m kur temperatura rritet me 1 gradë. Prandaj, është e nevojshme një temperaturë konstante prej ± 0.1 ℃, dhe vlera e lagështisë është përgjithësisht e ulët sepse pas djersitjes, produkti do të kontaminohet, veçanërisht në punishtet e gjysmëpërçuesve që kanë frikë nga natriumi. Ky lloj punishteje nuk duhet të kalojë 25 ℃.
Lagështia e tepërt shkakton më shumë probleme. Kur lagështia relative tejkalon 55%, në muret e tubit të ujit ftohës do të formohet kondensim. Nëse ndodh në pajisje ose qarqe precize, mund të shkaktojë aksidente të ndryshme. Kur lagështia relative është 50%, është e lehtë të ndryshket. Përveç kësaj, kur lagështia është shumë e lartë, pluhuri që ngjitet në sipërfaqen e pllakës së silikonit do të adsorbohet kimikisht në sipërfaqe përmes molekulave të ujit në ajër, gjë që është e vështirë për t'u hequr.
Sa më e lartë të jetë lagështia relative, aq më e vështirë është të hiqet ngjitja. Megjithatë, kur lagështia relative është nën 30%, grimcat gjithashtu adsorbohen lehtësisht në sipërfaqe për shkak të veprimit të forcës elektrostatike, dhe një numër i madh i pajisjeve gjysmëpërçuese janë të prirura për prishje. Diapazoni optimal i temperaturës për prodhimin e pllakave të silikonit është 35-45%.
Presioni i ajritkontrollnë dhomë të pastër
Për shumicën e hapësirave të pastra, për të parandaluar ndotjen e jashtme, është e nevojshme të mbahet presioni i brendshëm (presioni statik) më i lartë se presioni i jashtëm (presioni statik). Ruajtja e ndryshimit të presionit në përgjithësi duhet të jetë në përputhje me parimet e mëposhtme:
1. Presioni në hapësirat e pastra duhet të jetë më i lartë se ai në hapësirat jo të pastra.
2. Presioni në hapësirat me nivele të larta pastërtie duhet të jetë më i lartë se ai në hapësirat ngjitur me nivele të ulëta pastërtie.
3. Dyert midis dhomave të pastra duhet të hapen drejt dhomave me nivele të larta pastërtie.
Ruajtja e ndryshimit të presionit varet nga sasia e ajrit të pastër, i cili duhet të jetë në gjendje të kompensojë rrjedhjen e ajrit nga hapësira nën këtë ndryshim presioni. Pra, kuptimi fizik i ndryshimit të presionit është rezistenca ndaj rrjedhjes së ajrit të rrjedhjes (ose infiltrimit) përmes hapësirave të ndryshme në dhomën e pastër.
Koha e postimit: 21 korrik 2023