Kontrolli i temperaturës dhe presionit të ajrit në dhomën e pastër

Mbrojtja e mjedisit i kushtohet gjithnjë e më shumë vëmendje, veçanërisht me rritjen e motit të mjegullës. Inxhinieria e dhomave të pastra është një nga masat e mbrojtjes së mjedisit. Si të përdorni inxhinierinë e dhomës së pastër për të bërë një punë të mirë në mbrojtjen e mjedisit? Le të flasim për kontrollin në inxhinierinë e dhomave të pastra.

Kontrolli i temperaturës dhe lagështisë në dhomën e pastër

Temperatura dhe lagështia e hapësirave të pastra përcaktohen kryesisht bazuar në kërkesat e procesit, por kur përmbushja e kërkesave të procesit, duhet të merret parasysh komoditeti njerëzor. Me përmirësimin e kërkesave të pastërtisë së ajrit, ekziston një prirje e kërkesave më të rrepta për temperaturën dhe lagështinë në proces.

Si parim i përgjithshëm, për shkak të saktësisë në rritje të përpunimit, kërkesat për diapazonin e luhatjes së temperaturës po bëhen më të vogla dhe më të vogla. Për shembull, në litografinë dhe procesin e ekspozimit të prodhimit të qarkut të integruar në shkallë të gjerë, ndryshimi në koeficientin e zgjerimit termik midis xhamave dhe meshave silikoni të përdorura si materiale maskë po bëhet gjithnjë e më e vogël.

Një meshë silikoni me një diametër prej 100 μm shkakton një zgjerim linear prej 0.24 μm kur temperatura rritet me 1 shkallë. Prandaj, një temperaturë konstante prej 0,1 ℃ është e nevojshme, dhe vlera e lagështisë është përgjithësisht e ulët sepse pas djersitjes, produkti do të ndotet, veçanërisht në punëtoritë gjysmëpërçuese që kanë frikë nga natriumi. Ky lloj punëtorie nuk duhet të kalojë 25.

Lagështia e tepërt shkakton më shumë probleme. Kur lagështia relative tejkalon 55%, kondensimi do të formohet në murin e tubit të ujit ftohës. Nëse ndodh në pajisjet precize ose qarqet, mund të shkaktojë aksidente të ndryshme. Kur lagështia relative është 50%, është e lehtë të ndryshket. Përveç kësaj, kur lagështia është shumë e lartë, pluhuri që përmbahet në sipërfaqen e meshës së silikonit do të adsorbohet kimikisht në sipërfaqe përmes molekulave të ujit në ajër, gjë që është e vështirë të hiqet.

Sa më i lartë të jetë lagështia relative, aq më e vështirë është të hiqni ngjitjen. Sidoqoftë, kur lagështia relative është nën 30%, grimcat gjithashtu adsorbohen lehtësisht në sipërfaqe për shkak të veprimit të forcës elektrostatike, dhe një numër i madh i pajisjeve gjysmëpërçuese janë të prirur për ndarje. Gama optimale e temperaturës për prodhimin e meshës së silikonit është 35-45%.

Presion nga ajrikontrollnë dhomë të pastër 

Për shumicën e hapësirave të pastra, për të parandaluar ndotjen e jashtme nga pushtimi, është e nevojshme të mbahet presioni i brendshëm (presioni statik) më i lartë se presioni i jashtëm (presioni statik). Mirëmbajtja e diferencës së presionit në përgjithësi duhet të përputhet me parimet e mëposhtme:

1. Presioni në hapësirat e pastra duhet të jetë më i lartë se ai në hapësirat jo të pastra.

2. Presioni në hapësira me nivele të larta të pastërtisë duhet të jetë më i lartë se ai në hapësirat ngjitur me nivele të ulëta të pastërtisë.

3 Dyert midis dhomave të pastra duhet të hapen drejt dhomave me nivele të larta pastërtie.

Mirëmbajtja e diferencës së presionit varet nga sasia e ajrit të pastër, i cili duhet të jetë në gjendje të kompensojë rrjedhjen e ajrit nga hendeku nën këtë ndryshim të presionit. Pra, kuptimi fizik i diferencës së presionit është rezistenca e rrjedhjes (ose infiltrimit) rrjedha e ajrit përmes boshllëqeve të ndryshme në dhomën e pastër.