KONTROLLIMI I TEMPERATURËS DHE PRISIONIT TË AJRIT NË DHOMË TË PASTËR

Mbrojtja e mjedisit i kushtohet gjithnjë e më shumë vëmendje, veçanërisht me rritjen e motit me mjegull.Inxhinieria e dhomës së pastër është një nga masat e mbrojtjes së mjedisit.Si të përdorni inxhinierinë e dhomës së pastër për të bërë një punë të mirë në mbrojtjen e mjedisit?Le të flasim për kontrollin në inxhinierinë e dhomës së pastër.

Kontrolli i temperaturës dhe lagështisë në dhomë të pastër

Temperatura dhe lagështia e hapësirave të pastra përcaktohen kryesisht në bazë të kërkesave të procesit, por kur plotësohen kërkesat e procesit, duhet të merret parasysh komoditeti i njeriut.Me përmirësimin e kërkesave për pastërtinë e ajrit, ka një tendencë të kërkesave më të rrepta për temperaturën dhe lagështinë në proces.

Si parim i përgjithshëm, për shkak të rritjes së saktësisë së përpunimit, kërkesat për diapazonin e luhatjeve të temperaturës po bëhen gjithnjë e më të vogla.Për shembull, në procesin e litografisë dhe ekspozimit të prodhimit të qarkut të integruar në shkallë të gjerë, ndryshimi në koeficientin e zgjerimit termik midis vaferave të qelqit dhe silikonit që përdoren si materiale maskash po bëhet gjithnjë e më i vogël.

Një meshë silikoni me diametër 100 μm shkakton një zgjerim linear prej 0,24 μm kur temperatura rritet me 1 gradë.Prandaj, është e nevojshme një temperaturë konstante prej ± 0,1 ℃, dhe vlera e lagështisë është përgjithësisht e ulët, sepse pas djersitjes, produkti do të kontaminohet, veçanërisht në punëtoritë gjysmëpërçuese që kanë frikë nga natriumi.Temperatura e këtij lloji të punëtorisë nuk duhet të kalojë 25℃.

Lagështia e tepërt shkakton më shumë probleme.Kur lagështia relative kalon 55%, do të formohet kondensimi në murin e tubit të ujit ftohës.Nëse ndodh në pajisje ose qarqe precize, mund të shkaktojë aksidente të ndryshme.Kur lagështia relative është 50%, është e lehtë të ndryshket.Përveç kësaj, kur lagështia është shumë e lartë, pluhuri që ngjitet në sipërfaqen e vaferës së silikonit do të absorbohet kimikisht në sipërfaqe përmes molekulave të ujit në ajër, gjë që është e vështirë të hiqet.

Sa më e lartë të jetë lagështia relative, aq më e vështirë është heqja e ngjitjes.Megjithatë, kur lagështia relative është nën 30%, grimcat gjithashtu absorbohen lehtësisht në sipërfaqe për shkak të veprimit të forcës elektrostatike dhe një numër i madh i pajisjeve gjysmëpërçuese janë të prirura për t'u prishur.Gama optimale e temperaturës për prodhimin e vaferës së silikonit është 35-45%.

Presioni i ajritkontrollinnë dhomë të pastër 

Për shumicën e hapësirave të pastra, për të parandaluar pushtimin e ndotjes së jashtme, është e nevojshme të ruhet presioni i brendshëm (presioni statik) më i lartë se presioni i jashtëm (presioni statik).Ruajtja e diferencës së presionit në përgjithësi duhet të jetë në përputhje me parimet e mëposhtme:

1. Presioni në hapësirat e pastra duhet të jetë më i lartë se ai në hapësirat jo të pastra.

2. Presioni në hapësirat me nivele të larta pastërtie duhet të jetë më i lartë se ai në hapësirat ngjitur me nivele të ulëta pastërtie.

3. Dyert ndërmjet dhomave të pastra duhet të hapen drejt dhomave me nivele të larta pastërtie.

Ruajtja e diferencës së presionit varet nga sasia e ajrit të pastër, i cili duhet të jetë në gjendje të kompensojë rrjedhjen e ajrit nga hendeku nën këtë diferencë presioni.Pra, kuptimi fizik i ndryshimit të presionit është rezistenca e rrjedhjes (ose infiltrimit) të rrjedhës së ajrit përmes boshllëqeve të ndryshme në dhomë të pastër.