Rendimenti i çipit në industrinë e prodhimit të çipave është e lidhur ngushtë me madhësinë dhe numrin e grimcave të ajrit të depozituara në çip. Organizimi i mirë i rrjedhës së ajrit mund të marrë grimca të krijuara nga burimet e pluhurit larg dhomës së pastër dhe të sigurojë pastërtinë e dhomës së pastër. Kjo do të thotë, organizata e rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër luan një rol jetësor në rendimentin e prodhimit të çipit. Qëllimet që duhet të arrihen në hartimin e organizimit të rrjedhës së ajrit të dhomës së pastër janë: të zvogëlojnë ose eliminojnë rrymat eddy në fushën e rrjedhës për të shmangur mbajtjen e grimcave të dëmshme; Për të ruajtur një gradient të duhur pozitiv të presionit për të parandaluar ndotjen kryq.
Sipas parimit të dhomës së pastër, forcat që veprojnë në grimca përfshijnë forcën masive, forcën molekulare, tërheqjen midis grimcave, forcën e rrjedhës së ajrit, etj.
Forca e rrjedhës së ajrit: i referohet forcës së rrjedhës së ajrit të shkaktuar nga furnizimi dhe kthimi i rrjedhës së ajrit, rrjedha e ajrit konvekcion termik, agjitacioni artificial dhe flukset e tjera të ajrit me një ritëm të caktuar të rrjedhës për të mbartur grimcat. Për kontrollin e teknologjisë mjedisore të dhomës së pastër, forca e rrjedhës së ajrit është faktori më i rëndësishëm.
Eksperimentet kanë treguar që në lëvizjen e rrjedhës së ajrit, grimcat ndjekin rrjedhën e ajrit me pothuajse saktësisht të njëjtën shpejtësi. Gjendja e grimcave në ajër përcaktohet nga shpërndarja e rrjedhës së ajrit. Efektet kryesore të rrjedhës së ajrit në grimcat e brendshme përfshijnë: rrjedhën e ajrit të furnizimit me ajër (përfshirë rrjedhën parësore të ajrit dhe rrjedhën e ajrit sekondar), rrjedhën e ajrit dhe rrjedhën e ajrit konvekcion termik të shkaktuar nga njerëzit që ecin, dhe ndikimin e rrjedhës së ajrit në grimcat e shkaktuara nga operacionet e procesit dhe pajisjet industriale. Metodat e ndryshme të furnizimit me ajër, ndërfaqet e shpejtësisë, operatorët dhe pajisjet industriale, fenomenet e induktuara, etj në dhomat e pastrimit janë të gjithë faktorët që ndikojnë në nivelin e pastërtisë.
1. Ndikimi i metodës së furnizimit me ajër
(1) Shpejtësia e furnizimit me ajër
Për të siguruar rrjedhën e njëtrajtshme të ajrit, shpejtësia e furnizimit të ajrit në dhomën e pastër të rrjedhës unidirectional duhet të jetë uniforme; Zona e vdekur në sipërfaqen e furnizimit me ajër duhet të jetë e vogël; dhe rënia e presionit brenda filtrit HEPA gjithashtu duhet të jetë uniforme.
Shpejtësia e furnizimit me ajër është e njëtrajtshme: domethënë, pabarazia e rrjedhës së ajrit kontrollohet brenda 20%.
Ka më pak hapësirë të ngordhur në sipërfaqen e furnizimit të ajrit: jo vetëm që duhet të zvogëlohet zona e aeroplanit të kornizës HEPA, por më e rëndësishmja, FFU modulare duhet të përdoret për të thjeshtuar kornizën e tepërt.
Për të siguruar që fluksi i ajrit të jetë vertikal dhe i njëanshëm, zgjedhja e rënies së presionit të filtrit është gjithashtu shumë e rëndësishme, dhe kërkohet që humbja e presionit brenda filtrit të mos mund të paragjykohet.
(2) Krahasimi midis sistemit FFU dhe sistemit të tifozit të rrjedhës boshtore
FFU është një njësi e furnizimit me ajër me një tifoz dhe filtër HEPA. Ajri është thithur nga tifozi centrifugal i FFU dhe shndërron presionin dinamik në presion statik në kanalin e ajrit. Ajo është hedhur në erë në mënyrë të barabartë nga filtri HEPA. Presioni i furnizimit me ajër në tavan është presion negativ. Në këtë mënyrë asnjë pluhur nuk do të rrjedhë në dhomë të pastër kur zëvendësoni filtrin. Eksperimentet kanë treguar që sistemi FFU është superior ndaj sistemit të tifozëve të rrjedhës boshtore për sa i përket uniformitetit të daljes së ajrit, paralelizmit të rrjedhës së ajrit dhe indeksit të efikasitetit të ventilimit. Kjo për shkak se paralelizmi i rrjedhës së ajrit të sistemit FFU është më i mirë. Përdorimi i sistemit FFU mund të përmirësojë organizimin e rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër.
(3) Ndikimi i strukturës së vetë FFU
FFU është kryesisht e përbërë nga tifozë, filtra, udhëzues të rrjedhës së ajrit dhe përbërës të tjerë. Filtri HEPA është garancia më e rëndësishme për dhomën e pastër për të arritur pastërtinë e kërkuar të kërkuar nga dizajni. Materiali i filtrit do të ndikojë gjithashtu në uniformitetin e fushës së rrjedhës. Kur një material filtri i përafërt ose një pllakë rrjedhëse shtohet në prizën e filtrit, fusha e rrjedhës së daljes mund të bëhet lehtësisht e njëtrajtshme.
2. Ndikimi i ndërfaqes së shpejtësisë me pastërti të ndryshme
Në të njëjtën dhomë të pastër, midis zonës së punës dhe zonës jo-punëtore me rrjedhë vertikale unidirectional, për shkak të ndryshimit në shpejtësinë e ajrit në kutinë HEPA, do të ndodhë një efekt vorbull i përzier në ndërfaqe, dhe kjo ndërfaqe do të bëhet e turbullt Zona e rrjedhës së ajrit. Intensiteti i trazirave të ajrit është veçanërisht i fortë, dhe grimcat mund të transmetohen në sipërfaqen e makinës së pajisjeve dhe të kontaminojnë pajisjet dhe meshat.
3. Ndikimi në staf dhe pajisje
Kur dhoma e pastër është e zbrazët, karakteristikat e rrjedhës së ajrit në dhomë zakonisht plotësojnë kërkesat e projektimit. Pasi pajisjet të hyjë në dhomë të pastër, njerëzit lëvizin dhe produktet transportohen, ka pengesa të pashmangshme për organizimin e rrjedhës së ajrit, siç janë pikat e mprehta që zgjaten nga makina e pajisjeve. Në qoshet ose skajet, gazi do të devijojë për të formuar një zonë të turbullt të rrjedhës, dhe lëngu në zonë nuk do të merret lehtësisht nga gazi në hyrje, duke shkaktuar kështu ndotje.
Në të njëjtën kohë, sipërfaqja e pajisjeve mekanike do të nxehet për shkak të funksionimit të vazhdueshëm, dhe gradienti i temperaturës do të shkaktojë një zonë reflektuese afër makinës, e cila rrit akumulimin e grimcave në zonën e rrjedhës. Në të njëjtën kohë, temperatura e lartë do të bëjë që grimcat të shpëtojnë. Efekti i dyfishtë intensifikon shtresën e përgjithshme vertikale. Vështirësia e kontrollit të pastërtisë së rrjedhës. Pluhuri nga operatorët në dhomën e pastër mund të përmbahet lehtësisht në meshë në këto zona që rrjedhin.
4. Ndikimi i dyshemesë së ajrit të kthimit
Kur rezistenca e ajrit të kthimit që kalon nëpër dysheme është e ndryshme, do të ndodhë ndryshimi i presionit, duke bërë që ajri të rrjedhë në drejtim të rezistencës së vogël, dhe rrjedha uniforme e ajrit nuk do të merret. Metoda aktuale e dizajnit popullor është të përdorni një dysheme të ngritur. Kur raporti i hapjes së dyshemesë së ngritur është në 10%, shpejtësia e rrjedhës së ajrit mund të shpërndahet në mënyrë të barabartë në lartësinë e brendshme të punës. Për më tepër, vëmendja e rreptë duhet t'i kushtohet punës së pastrimit për të zvogëluar burimin e ndotjes në dysheme.
5. Fenomeni i induksionit
I ashtuquajturi fenomen i induksionit i referohet fenomenit të gjenerimit të rrjedhës së ajrit në drejtim të kundërt me rrjedhën e njëtrajtshme, duke induktuar pluhurin e gjeneruar në dhomë ose pluhur në zonat e ndotura ngjitur në anën e sipërme, duke bërë që pluhuri të kontaminojë meshin. Fenomenet e mundshme të induktuara përfshijnë sa vijon:
(1) Pllaka e verbër
Në një dhomë të pastër me rrjedhë vertikale të njëanshme, për shkak të nyjeve në mur, në përgjithësi ka panele të mëdha të verbër që do të prodhojnë rrjedhë të turbullt dhe rrjedhë lokale.
(2) llamba
Ndeshjet e ndriçimit në dhomën e pastër do të kenë një ndikim më të madh. Meqenëse nxehtësia e llambës fluoreshente bën që rrjedhja e ajrit të rritet, llamba fluoreshente nuk do të bëhet një zonë e turbullt. Në përgjithësi, llambat në dhomën e pastër janë të dizajnuara në një formë lotësh për të zvogëluar ndikimin e llambave në organizimin e rrjedhës së ajrit.
(3) Boshllëqet midis mureve
Kur ka boshllëqe midis mureve të ndarjes ose tavaneve me kërkesa të ndryshme të pastërtisë, pluhuri nga zonat me kërkesa të ulëta për pastërtinë mund të transferohet në zonat ngjitur me kërkesa të larta për pastërtinë.
(4) Distanca midis pajisjeve mekanike dhe dyshemesë ose murit
Nëse hendeku midis pajisjeve mekanike dhe dyshemesë ose murit është i vogël, do të ndodhë turbullira e kthyer. Prandaj, lini një hendek midis pajisjeve dhe murit dhe ngrini platformën e makinerisë për të shmangur kontaktin e drejtpërdrejtë me tokën.
Koha e Postimit: Nëntor-02-2023