Rendimenti i çipave në industrinë e prodhimit të çipave është i lidhur ngushtë me madhësinë dhe numrin e grimcave të ajrit të depozituara në çip. Organizimi i mirë i rrjedhës së ajrit mund t'i largojë grimcat e gjeneruara nga burimet e pluhurit nga dhoma e pastër dhe të sigurojë pastërtinë e dhomës së pastër. Kjo do të thotë, organizimi i rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër luan një rol jetësor në rendimentin e prodhimit të çipave. Synimet që duhen arritur në projektimin e organizimit të rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër janë: të zvogëlohen ose eliminohen rrymat vorbull në fushën e rrjedhjes për të shmangur mbajtjen e grimcave të dëmshme; të ruhet një gradient i përshtatshëm pozitiv i presionit për të parandaluar kontaminimin e kryqëzuar.
Sipas parimit të dhomës së pastër, forcat që veprojnë mbi grimcat përfshijnë forcën masive, forcën molekulare, tërheqjen midis grimcave, forcën e rrjedhës së ajrit, etj.
Forca e rrjedhjes së ajrit: i referohet forcës së rrjedhjes së ajrit të shkaktuar nga rrjedha e ajrit të furnizimit dhe kthimit, rrjedha e ajrit me konvekcion termik, agjitacioni artificial dhe rrjedha të tjera të ajrit me një shpejtësi të caktuar rrjedhjeje për të transportuar grimca. Për kontrollin e teknologjisë mjedisore të dhomës së pastër, forca e rrjedhjes së ajrit është faktori më i rëndësishëm.
Eksperimentet kanë treguar se në lëvizjen e rrjedhës së ajrit, grimcat ndjekin rrjedhën e ajrit me pothuajse të njëjtën shpejtësi. Gjendja e grimcave në ajër përcaktohet nga shpërndarja e rrjedhës së ajrit. Efektet kryesore të rrjedhës së ajrit në grimcat e brendshme përfshijnë: rrjedhën e ajrit të furnizimit me ajër (duke përfshirë rrjedhën primare të ajrit dhe atë sekondare të ajrit), rrjedhën e ajrit dhe rrjedhën termike të ajrit të konvekcionit të shkaktuar nga njerëzit që ecin, dhe ndikimin e ajrit në grimca të shkaktuara nga operacionet e procesit dhe pajisjet industriale. Metodat e ndryshme të furnizimit me ajër, ndërfaqet e shpejtësisë, operatorët dhe pajisjet industriale, fenomenet e induktuara, etj., në dhomat e pastra janë të gjithë faktorë që ndikojnë në nivelin e pastërtisë.
1. Ndikimi i metodës së furnizimit me ajër
(1) Shpejtësia e furnizimit me ajër
Për të siguruar rrjedhje uniforme të ajrit, shpejtësia e furnizimit me ajër në dhomën e pastër me rrjedhë unidrejtimëshe duhet të jetë uniforme; zona e vdekur në sipërfaqen e furnizimit me ajër duhet të jetë e vogël; dhe rënia e presionit brenda filtrit HEPA duhet të jetë gjithashtu uniforme.
Shpejtësia e furnizimit me ajër është uniforme: domethënë, pabarazia e rrjedhës së ajrit kontrollohet brenda ±20%.
Ka më pak hapësirë të vdekur në sipërfaqen e furnizimit me ajër: jo vetëm që duhet të zvogëlohet sipërfaqja e rrafshët e kornizës HEPA, por më e rëndësishmja, duhet të përdoret FFU modulare për të thjeshtuar kornizën redundante.
Për të siguruar që rrjedha e ajrit të jetë vertikale dhe unidireksionale, përzgjedhja e rënies së presionit të filtrit është gjithashtu shumë e rëndësishme, dhe kërkohet që humbja e presionit brenda filtrit të mos jetë e paragjykuar.
(2) Krahasimi midis sistemit FFU dhe sistemit të ventilatorit me rrjedhje aksiale
FFU është një njësi furnizimi me ajër me një ventilator dhe një filtër HEPA. Ajri thithet nga ventilatori centrifugal i FFU-së dhe e shndërron presionin dinamik në presion statik në kanalin e ajrit. Ai nxirret në mënyrë të barabartë nga filtri HEPA. Presioni i furnizimit me ajër në tavan është presion negativ. Në këtë mënyrë, nuk do të rrjedhë pluhur në dhomën e pastër kur zëvendësohet filtri. Eksperimentet kanë treguar se sistemi FFU është superior ndaj sistemit të ventilatorit me rrjedhë aksiale për sa i përket uniformitetit të daljes së ajrit, paralelizmit të rrjedhës së ajrit dhe indeksit të efikasitetit të ventilimit. Kjo për shkak se paralelizmi i rrjedhës së ajrit i sistemit FFU është më i mirë. Përdorimi i sistemit FFU mund të përmirësojë organizimin e rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër.
(3) Ndikimi i strukturës së vetë FFU-së
FFU përbëhet kryesisht nga ventilatorë, filtra, udhëzues të rrjedhës së ajrit dhe komponentë të tjerë. Filtri HEPA është garancia më e rëndësishme për dhomën e pastër për të arritur pastërtinë e kërkuar nga projektimi. Materiali i filtrit do të ndikojë gjithashtu në uniformitetin e fushës së rrjedhës. Kur një material i ashpër filtri ose një pllakë rrjedhjeje shtohet në daljen e filtrit, fusha e rrjedhës së daljes mund të bëhet lehtësisht uniforme.
2. Ndikimi i shpejtësisë së ndërfaqes me pastërti të ndryshme
Në të njëjtën dhomë të pastër, midis zonës së punës dhe zonës jo-pune me rrjedhë vertikale unidireksionale, për shkak të ndryshimit në shpejtësinë e ajrit në kutinë HEPA, do të ndodhë një efekt vorbulle i përzier në ndërfaqe, dhe kjo ndërfaqe do të bëhet një zonë turbulente e rrjedhës së ajrit. Intensiteti i turbulencës së ajrit është veçanërisht i fortë, dhe grimcat mund të transmetohen në sipërfaqen e pajisjes dhe të kontaminojnë pajisjet dhe pllakat.
3. Ndikimi në stafin dhe pajisjet
Kur dhoma e pastër është bosh, karakteristikat e rrjedhës së ajrit në dhomë në përgjithësi plotësojnë kërkesat e projektimit. Pasi pajisjet hyjnë në dhomën e pastër, njerëzit lëvizin dhe produktet transportohen, në mënyrë të pashmangshme ka pengesa në organizimin e rrjedhës së ajrit, të tilla si maja të mprehta që dalin nga makina e pajisjeve. Në qoshe ose skaje, gazi do të devijojë për të formuar një zonë rrjedhjeje turbulente, dhe lëngu në zonë nuk do të largohet lehtësisht nga gazi hyrës, duke shkaktuar kështu ndotje.
Në të njëjtën kohë, sipërfaqja e pajisjeve mekanike do të nxehet për shkak të funksionimit të vazhdueshëm, dhe gradienti i temperaturës do të shkaktojë një zonë ripërtëritjeje pranë makinës, gjë që rrit akumulimin e grimcave në zonën e ripërtëritjes. Në të njëjtën kohë, temperatura e lartë do të shkaktojë lehtësisht daljen e grimcave. Efekti i dyfishtë intensifikon shtresën vertikale të përgjithshme. Vështirësia e kontrollit të pastërtisë së rrjedhës. Pluhuri nga operatorët në dhomën e pastër mund të ngjitet lehtësisht në pllaka në këto zona ripërtëritjeje.
4. Ndikimi i dyshemesë së ajrit të kthimit
Kur rezistenca e ajrit të kthimit që kalon nëpër dysheme është e ndryshme, do të ndodhë ndryshimi i presionit, duke bërë që ajri të rrjedhë në drejtim të rezistencës së vogël, dhe rrjedha uniforme e ajrit nuk do të arrihet. Metoda aktuale e projektimit popullore është përdorimi i një dyshemeje të ngritur. Kur raporti i hapjes së dyshemesë së ngritur është në 10%, shpejtësia e rrjedhjes së ajrit mund të shpërndahet në mënyrë të barabartë në lartësinë e punës së brendshme. Përveç kësaj, duhet t'i kushtohet vëmendje e rreptë punës së pastrimit për të zvogëluar burimin e ndotjes në dysheme.
5. Fenomeni i induksionit
I ashtuquajturi fenomen induksioni i referohet fenomenit të gjenerimit të rrjedhës së ajrit në drejtim të kundërt me rrjedhën uniforme, duke shkaktuar pluhur të gjeneruar në dhomë ose pluhur në zonat e kontaminuara ngjitur në anën kundër erës, duke bërë kështu që pluhuri të ndotë pllakëzën. Fenomenet e mundshme të shkaktuara përfshijnë si në vijim:
(1) Pllakë e verbër
Në një dhomë të pastër me rrjedhë vertikale njëkahëshe, për shkak të nyjeve në mur, në përgjithësi ka panele të mëdha të verbëra që do të prodhojnë rrjedhë turbulente dhe rrjedhë lokale kundër saj.
(2) Llampa
Pajisjet e ndriçimit në dhomat e pastra do të kenë një ndikim më të madh. Meqenëse nxehtësia e llambës fluoreshente shkakton rritjen e rrjedhës së ajrit, llamba fluoreshente nuk do të bëhet një zonë turbulente. Në përgjithësi, llambat në dhomat e pastra janë projektuar në formën e një pike loti për të zvogëluar ndikimin e llambave në organizimin e rrjedhës së ajrit.
(3) Hapësira midis mureve
Kur ka boshllëqe midis mureve ndarëse ose tavaneve me kërkesa të ndryshme pastërtie, pluhuri nga zonat me kërkesa të ulëta pastërtie mund të transferohet në zonat ngjitur me kërkesa të larta pastërtie.
(4) Distanca midis pajisjeve mekanike dhe dyshemesë ose murit
Nëse hapësira midis pajisjeve mekanike dhe dyshemesë ose murit është e vogël, do të ndodhë turbulencë rikthimi. Prandaj, lini një hapësirë midis pajisjeve dhe murit dhe ngrini platformën e makinës për të shmangur kontaktin e drejtpërdrejtë me tokën.
Koha e postimit: 02 nëntor 2023