Rendimenti i çipave në industrinë e prodhimit të çipave është i lidhur ngushtë me madhësinë dhe numrin e grimcave të ajrit të depozituara në çip.Organizimi i mirë i rrjedhës së ajrit mund të largojë grimcat e krijuara nga burimet e pluhurit nga dhoma e pastër dhe të sigurojë pastërtinë e dhomës së pastër.Kjo do të thotë, organizimi i rrjedhës së ajrit në dhomën e pastër luan një rol jetik në rendimentin e prodhimit të çipave.Qëllimet që duhen arritur në projektimin e organizimit të rrjedhës së ajrit në dhomë të pastër janë: të reduktohen ose eliminohen rrymat vorbull në fushën e rrjedhës për të shmangur mbajtjen e grimcave të dëmshme;për të mbajtur një gradient të përshtatshëm presioni pozitiv për të parandaluar kontaminimin e kryqëzuar.
Sipas parimit të dhomës së pastër, forcat që veprojnë mbi grimcat përfshijnë forcën e masës, forcën molekulare, tërheqjen midis grimcave, forcën e rrjedhës së ajrit, etj.
Forca e rrjedhës së ajrit: i referohet forcës së rrjedhës së ajrit të shkaktuar nga fluksi i ajrit të furnizimit dhe kthimit, rrjedhës së ajrit të konvekcionit termik, trazimit artificial dhe flukseve të tjera të ajrit me një normë të caktuar rrjedhjeje për të bartur grimcat.Për kontrollin e teknologjisë mjedisore të dhomës së pastër, forca e rrjedhës së ajrit është faktori më i rëndësishëm.
Eksperimentet kanë treguar se në lëvizjen e rrjedhës së ajrit, grimcat ndjekin rrjedhën e ajrit me pothuajse të njëjtën shpejtësi.Gjendja e grimcave në ajër përcaktohet nga shpërndarja e rrjedhës së ajrit.Efektet kryesore të rrjedhës së ajrit në grimcat e brendshme përfshijnë: rrjedhën e ajrit të furnizimit me ajër (përfshirë rrjedhën e ajrit primar dhe atë dytësor), rrjedhën e ajrit dhe rrjedhjen e ajrit me konvekcion termik të shkaktuar nga njerëzit që ecin dhe ndikimin e rrjedhës së ajrit në grimcat e shkaktuara nga operacionet e procesit dhe pajisjet industriale.Metodat e ndryshme të furnizimit me ajër, ndërfaqet e shpejtësisë, operatorët dhe pajisjet industriale, fenomenet e induktuara, etj në dhomat e pastra janë të gjithë faktorë që ndikojnë në nivelin e pastërtisë.
1. Ndikimi i metodës së furnizimit me ajër
(1) Shpejtësia e furnizimit me ajër
Për të siguruar rrjedhje uniforme të ajrit, shpejtësia e furnizimit me ajër në dhomën e pastër të rrjedhës me një drejtim duhet të jetë uniforme;zona e vdekur në sipërfaqen e furnizimit me ajër duhet të jetë e vogël;dhe rënia e presionit brenda filtrit hepa duhet gjithashtu të jetë uniforme.
Shpejtësia e furnizimit me ajër është uniforme: domethënë, pabarazia e rrjedhës së ajrit kontrollohet brenda ±20%.
Ka më pak hapësirë të vdekur në sipërfaqen e furnizimit me ajër: jo vetëm që sipërfaqja e rrafshët e kornizës hepa duhet të reduktohet, por më e rëndësishmja, FFU modulare duhet të përdoret për të thjeshtuar kornizën e tepërt.
Për të siguruar që fluksi i ajrit të jetë vertikal dhe i njëanshëm, zgjedhja e rënies së presionit të filtrit është gjithashtu shumë e rëndësishme dhe kërkohet që humbja e presionit brenda filtrit të mos jetë e njëanshme.
(2) Krahasimi midis sistemit FFU dhe sistemit të ventilatorit me rrjedhje aksiale
FFU është një njësi furnizimi me ajër me një ventilator dhe filtër hepa.Ajri thithet nga ventilatori centrifugal i FFU dhe konverton presionin dinamik në presion statik në kanalin e ajrit.Fryhet në mënyrë të barabartë nga filtri hepa.Presioni i furnizimit me ajër në tavan është presion negativ.Në këtë mënyrë asnjë pluhur nuk do të rrjedhë në dhomën e pastër kur ndërroni filtrin.Eksperimentet kanë treguar se sistemi FFU është superior ndaj sistemit të ventilatorit të rrjedhës boshtore për sa i përket uniformitetit të daljes së ajrit, paralelizmit të rrjedhës së ajrit dhe indeksit të efikasitetit të ventilimit.Kjo për shkak se paralelizmi i rrjedhës së ajrit të sistemit FFU është më i mirë.Përdorimi i sistemit FFU mund të përmirësojë organizimin e rrjedhës së ajrit në dhomë të pastër.
(3) Ndikimi i strukturës së vetë FFU-së
FFU përbëhet kryesisht nga tifozë, filtra, udhëzues të rrjedhës së ajrit dhe komponentë të tjerë.Filtri hepa është garancia më e rëndësishme për dhomën e pastër për të arritur pastërtinë e kërkuar të kërkuar nga dizajni.Materiali i filtrit do të ndikojë gjithashtu në uniformitetin e fushës së rrjedhës.Kur një material filtri i përafërt ose një pllakë rrjedhëse shtohet në prizën e filtrit, fusha e rrjedhës së daljes mund të bëhet lehtësisht uniforme.
2. Ndikimi i ndërfaqes së shpejtësisë me pastërti të ndryshme
Në të njëjtën dhomë të pastër, midis zonës së punës dhe zonës jo-pune me rrjedhje vertikale njëdrejtimëshe, për shkak të ndryshimit në shpejtësinë e ajrit në kutinë hepa, një efekt vorbull i përzier do të ndodhë në ndërfaqe dhe kjo ndërfaqe do të bëhet e turbullt zona e rrjedhjes së ajrit.Intensiteti i turbulencës së ajrit është veçanërisht i fortë dhe grimcat mund të transmetohen në sipërfaqen e makinës së pajisjes dhe të kontaminojnë pajisjet dhe vaferat.
3. Ndikimi në personel dhe pajisje
Kur dhoma e pastër është bosh, karakteristikat e rrjedhës së ajrit në dhomë në përgjithësi plotësojnë kërkesat e projektimit.Sapo pajisjet hyjnë në dhomën e pastër, njerëzit lëvizin dhe produktet transportohen, në mënyrë të pashmangshme ka pengesa për organizimin e rrjedhës së ajrit, të tilla si pika të mprehta që dalin nga makina e pajisjes.Në qoshet ose skajet, gazi do të devijohet për të formuar një zonë rrjedhjeje të turbullt dhe lëngu në zonë nuk do të bartet lehtësisht nga gazi që vjen, duke shkaktuar kështu ndotje.
Në të njëjtën kohë, sipërfaqja e pajisjeve mekanike do të nxehet për shkak të funksionimit të vazhdueshëm, dhe gradienti i temperaturës do të shkaktojë një zonë rikthimi pranë makinës, e cila rrit akumulimin e grimcave në zonën e rifluksit.Në të njëjtën kohë, temperatura e lartë do të shkaktojë lehtësisht largimin e grimcave.Efekti i dyfishtë intensifikon shtresën e përgjithshme vertikale.Vështirësia e kontrollit të pastërtisë së përroit.Pluhuri nga operatorët në dhomë të pastër mund të ngjitet lehtësisht në vaferë në këto zona të rifluksit.
4. Ndikimi i dyshemesë së ajrit të kthimit
Kur rezistenca e ajrit të kthimit që kalon nëpër dysheme është e ndryshme, do të ndodhë diferenca e presionit, duke bërë që ajri të rrjedhë në drejtim të rezistencës së vogël dhe nuk do të arrihet një rrjedhje uniforme e ajrit.Metoda e tanishme popullore e projektimit është përdorimi i një dyshemeje të ngritur.Kur raporti i hapjes së dyshemesë së ngritur është 10%, shpejtësia e rrjedhës së ajrit mund të shpërndahet në mënyrë të barabartë në lartësinë e punës së brendshme.Përveç kësaj, vëmendje e rreptë duhet t'i kushtohet punës së pastrimit për të zvogëluar burimin e ndotjes në dysheme.
5. Dukuria e induksionit
I ashtuquajturi fenomen i induksionit i referohet fenomenit të gjenerimit të rrjedhës së ajrit në drejtim të kundërt me rrjedhën uniforme, duke nxitur pluhurin e krijuar në dhomë ose pluhurin në zonat ngjitur të kontaminuara në anën kundër erës, duke bërë që pluhuri të kontaminojë vaferën.Fenomenet e mundshme të shkaktuara përfshijnë si më poshtë:
(1) Pllakë e verbër
Në një dhomë të pastër me rrjedhje vertikale njëkahëshe, për shkak të nyjeve në mur, përgjithësisht ka panele të mëdha të verbër që do të prodhojnë rrjedhje të turbullt dhe kthim mbrapsht lokal.
(2) Llambat
Pajisjet e ndriçimit në dhomë të pastër do të kenë një ndikim më të madh.Meqenëse nxehtësia e llambës fluoreshente shkakton rritjen e rrjedhës së ajrit, llamba fluoreshente nuk do të bëhet një zonë e turbullt.Në përgjithësi, llambat në dhomë të pastër janë të dizajnuara në formë loti për të reduktuar ndikimin e llambave në organizimin e rrjedhës së ajrit.
(3) Boshllëqet midis mureve
Kur ka boshllëqe midis mureve ndarëse ose tavaneve me kërkesa të ndryshme pastërtie, pluhuri nga zonat me kërkesa të ulëta pastërtie mund të transferohet në zonat ngjitur me kërkesa të larta pastërtie.
(4) Distanca ndërmjet pajisjes mekanike dhe dyshemesë ose murit
Nëse hendeku midis pajisjes mekanike dhe dyshemesë ose murit është i vogël, do të ndodhin turbulenca të kthimit.Prandaj, lini një hendek midis pajisjes dhe murit dhe ngrini platformën e makinës për të shmangur kontaktin e drejtpërdrejtë me tokën.
Koha e postimit: Nëntor-02-2023